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碳涂层的抛光方法

它容易且有效地提供了一种能够去除所述平滑或碳涂层的表面上的碳涂层的研磨方法。抛光工件10碳涂层12的碳涂层12的一种方法,包含基板11,在碳涂层12的表面12a的有机钼的表面上的至少一个氢元素的无定形碳材料的形成而供给润滑剂L包括,在所述碳涂覆的润滑剂L的表面12a被供给,按压研磨部件20用于抛光的表面12a,电源30的与按压31的负电极到工件10连接,由电源30的正极32连接到,一个电压施加在研磨部件20与被加工物10之间施加的研磨部件20,滑动工件10中的至少一个或所述研磨部件20通过,以抛光该碳涂层12。http://www.pvdpacvd.com/

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