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类金刚石薄膜的概述

  类金刚石薄膜,也被称为DLC薄膜,是英文Diamond Like Carbon的简称。它是一种以sp3和sp2键的形式结合生成的亚稳态材料,兼具金刚石和石墨的优良特性。这种薄膜具有高硬度、高电阻率、良好的光学性能以及优秀的摩擦学特性。


  具体来说,类金刚石薄膜的硬度、导热性、绝缘性、化学稳定性都相当高,从红外到紫外的高光学透过率也表现出色,并且具有良好的减摩特性。尽管除减摩性能外,其它性能均低于金刚石膜,但它仍然广泛应用于机械、电子、光学、热学、声学、医学等领域,尤其作为减摩耐磨涂层在航空航天、金属加工、医疗器件等众多领域有着重要应用。


  类金刚石薄膜的制备方法多种多样,其中一种常见的方法是通过射频等离子增强化学气象沉积设备,将陪镀片置于设备的腔体内部,经过一系列的气体通入、加热和离子化等步骤,最终在陪镀片表面形成类金刚石薄膜。


  总的来说,类金刚石薄膜因其优良的性能和广泛的应用领域而备受关注,随着科技的进步,其在更多领域的应用也将不断扩展。


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